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显微量测之方法有哪些?
A: 1.目镜测微尺量测(目镜加装测微尺规)
2.精密载物台移动光学尺量测
3.电脑影像视野量测(量测软体)
一般光学量测
显微镜平面是以X、Y轴精密载物台光学尺移动量测,而Z轴(高度)量测方式为对焦量测。如欲达到精准的3D(高度)量测,需採用雷射扫描以突破可见光波长之限制。
Q: 测微尺的计算方法为何?
A: 分为目镜测微尺及平台测微尺,
1. 目镜测微尺全长10mm共区分100小格,故1小格为10/100=0.1mm
计算公式:(测量格数 X 0.1mm) / 物镜倍率
ex. (18格 X 0.1mm) / 40倍 = 0.045mm
0.045mm X 1000 = 45 μm
2. 平台测微尺全长1mm共区分100小格,故1小格为1/100=0.01mm
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