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本文标题："一般常用来量测薄膜性质的仪器简介"
新闻来源：未知 发布时间：2012-12-1 0:41:55 本站主页地址：http://www.jiance17.com
一般常用来量测薄膜性质的仪器简介
需要用到那些仪器来量测薄膜的性质呢？
一般常用来量测薄膜性质的仪器有如下几种。
阶梯式膜厚量测仪可量测薄膜厚度。原理是利用探针在试片表面上扫描镀膜区与未镀膜区间的高度落差，以测得薄膜厚度。
扫描式电子显微镜 可量测薄膜的表面或断面形态、成分及厚度。原理是利用反射电子束或二次电子束的成像，获得薄膜表面及断面形貌。
穿透式电子显微镜可量测薄膜的内部结晶型态及晶体结构。原理是利用穿透式电子束直接成像，或绕射电子束成像，读取薄膜内部组织及晶体结构的资讯。
原子力显微镜可以极高倍率量测薄膜表面的形貌、凡得瓦力、摩擦系数及表面能。原理是藉由探针以接触、半接触或未接触方式，在薄膜表面扫描，并量取待测物表面上原子力的大小，做为形貌或表面性质判断的依据。
Ｘ光绕射仪可探测薄膜内的晶体结构。原理是利用短波长的Ｘ光通过薄膜后产生的绕射图谱，读取薄膜晶体资讯。
微／奈米硬度机可量测薄膜本质硬度及弹性模数。原理是利用一个钻石压头垂直施力于薄膜表面，读取表面压痕深度，或作用力与位移深度的关系，以评估微小机械特性。
刮痕测试机可量测薄膜与基材间的附着力。原理是利用钻石探针侧向施力于薄膜表面上，读取表面刮痕与探针受力大小，做为度量薄膜附着力的依据。
磨耗测试机可量测薄膜相对于对手材的摩擦系数与磨耗量。原理是利用不同材质或不同形状的对手材在薄膜表面上施力，并且做前后或圆周运动，读取薄膜表面轨迹深度或损失量，以及摩擦力。
液滴接触角量测仪可量测薄膜的亲水性、泼水性及表面能。原理是利用测试液滴与薄膜之间的接触角大小，得知薄膜表面能特性。
傅立叶转换红外线光谱仪可量测薄膜内部的化学官能基种类及键结方式。原理是利用红外线透过薄膜之后产生的吸收光谱读取薄膜资讯。
椭圆仪可量测薄膜的折射系数及厚度。原理是利用偏极的雷射光穿过薄膜后造成的相位差以获得薄膜的折射系数及厚度资讯。
共轭焦显微镜常用来量测薄膜表面加工后的形态。原理是利用雷射光学断层扫描原理读取薄膜的表面形貌资讯。
霍耳量测仪可量测薄膜的导电度及载子浓度。原理是利用霍耳效应读取薄膜资讯。
拉曼光谱仪可量测薄膜的键结方式。原理是利用可见光受到分子振动的作用而形成的散射位移量读取薄膜资讯。
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