---
---
---(点击查看产品报价)
本文标题："量测工具显微镜的微粒直径范围为100 nm-1mm"
新闻来源：未知 发布时间：2013-3-21 2:52:40 本站主页地址：http://www.jiance17.com
量测工具显微镜的微粒直径范围为100 nm-1mm
在晶圆表面上的奈米级微粒的粒径和分布是半导体制程中相当重要的检测参数。
针对此需求，工研院量测中心发展出一套奈米级的多方位偏振散射光量测仪，
使用一个可四个角度旋转的多方向调整机构来量测由晶圆表面上奈米微粒的偏振散射光，
再经由此散射光的Mueller 矩阵来计算和分辨奈米微粒的粒径大小，
其可量测的微粒直径范围为100 nm-1mm，并可承载4-8吋的晶圆进行量测。
所有资料用于交流学习之用，如有版权问题请联系，禁止复制,转载注明地址
上海光学仪器一厂-专业显微镜制造商 提供最合理的显微镜价格
合作站点：http://www.sgaaa.com/显微镜百科