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本文标题："扫描电子显微镜应用于极细微元件测量"
新闻来源：未知 发布时间：2013-4-15 21:44:31 本站主页地址：http://www.jiance17.com
扫描探针显微技术(Scanning Probe Microscope，SPM)在结合奈米制造技术后所研发出奈米量测技术
最新的成果。因为奈米元件在制造过程中(奈米制造技术)以及各种 相关技术的发展上都会需要量测做支援，所以观测奈米元件的技术
(奈米量测技术)对整个奈米技术的发展是不可或缺的。以这种观点为出发点，
期待扫描探针显微技术(SPM)可以发展成将奈米量测技术、奈米制造技术以及探索奈米级物质特性技术
这三种技术加以融 合重整为一多功能整合性技术。
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