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本文标题:"显微物镜哪有卖-专业测量微结构精密仪器制作的仪器"

新闻来源:未知 发布时间:2013-9-5 21:39:00 本站主页地址:http://www.jiance17.com

显微物镜哪有卖-专业测量微结构精密仪器制作的仪器

高深宽比之次微米微结构制作方法
有许多的研究群已提出了使用光致聚合法于高分子材料内制作高深宽比微结构之报
告,如Horiyama以及Wu等人分别使用单光子吸收及双光子吸收光致聚合法于感光
液态树脂与SU-8光阻内制作高深宽比之微结构,
他们共同点为使用高数值孔径(NA = 1.4)之显微物镜将激光光聚焦于高分子聚合材料
内,其目的为产生直径较小之焦点,

以获得高分辨率,并辅以层层堆叠的方法制作微结构,
以达成高深宽比之目的。由于采用层层堆叠法,故以此方法制作微结构时,
需要较长时间。
我们所提出的方法与其他研究群使用的方法有一个很大的不同点,那就是仅使用单层扫
描的方法,即可制作高深宽比微结构,且其分辨率小于光学绕射极限,达到次微米的程度。
本法由于仅扫描一层,不需使用传统层层堆叠的方法,故可缩短许多制作时间

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