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本文标题："样品材料表面的粒状物质检查用工具显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2014-4-21 17:26:38 本站主页地址：http://www.jiance17.com
样品材料表面的粒状物质检查用工具显微镜
表面的粒状物质
由于表面普遍存在粒子污染，所以净化间题急需解决。其原
因是对电子器件所需洁净度，以及怎样彻底清除粒子的技术了解
甚少，只认为这是一般的问题。
虽然有了高效过滤器，并在洁净室的设计中得到了应用，但
是，要使表面完全没有灰尘或其它粒状物质，实际上这是不可能
的。即使只在层流罩内放几天，在显微镜黑色管筒上也能看到粒
状物质。同样，将硅片在标准罩内存放一星期，由于选择性的粒子
污染，硅表面出现了钠原子。
清除表面粒子可用两种方法:用压缩空气吹;用水或隋性溶剂
快速冲洗。清除这种粒状物质的难度，与日常清扫汽车相似。即
使高速行驶，汽车表面的粒状物质也只是小部分被“吹掉”。或许
这种比喻不怎么恰当，因为在汽车表面沉积了一层趋于增加粘附
力的有机膜，当然在硅片上也是沉积了一层有机膜。如果有人想
用软管的水流(没有肥皂的)洗掉汽车上的尘土，那么经验说明，即
使水流压力再高也达不到目的的。
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