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本文标题："表层结构分析仪器的特点-试样表面粗糙度测量"
新闻来源：未知 发布时间：2014-8-2 6:54:49 本站主页地址：http://www.jiance17.com
表层结构分析仪器的特点-试样表面粗糙度测量
能谱分析仪(EDS)
能谱仪是最常用的表层成分分析仪器，经常在做扫描电镜时顺便可对感兴趣的微区做
元素成分分析。能谱仪是利用锉漂移硅Si(Li)半导体探测器对样品发生的特征x射线能量
采用能量分散讲仪进行分析比对，从而识别微区的元素成分。
得到的能谱曲线
仪器输出的特征X射线脉冲的高度可表达能量，脉冲的计数量代表X射线的强度.
能量表示在横坐标上，所有原子序数的元素的X射线能量是特定的，所以各元素在横坐标上的
排序是固定的。一旦检测到某一元素的X射线，就会在横坐标的特定位置上出现脉冲，该元
素的量越多则脉冲的记数越多，在纵坐标上显示的峰值就越高。
由于Si(Li)品体必须在深冷温度下才能防止Li的挥发和长期可正常工作，需用液氮保持低温。
能谱分析可用于Bc -U(原子序4-92)的各元素的定性分析，定量可作为重要参考。
而原子序小于4的H, He, Li是不能分析的，至于常用的C(碳)等轻元素的定量分析很不准确，
而氧元索的定量分析是可信的。探测的极限浓度(成分)为10-1000 μL/L
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