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本文标题："轮廓仪横向分辨率一般来说低于光学显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2014-11-11 12:32:17 本站主页地址：http://www.jiance17.com
轮廓仪横向分辨率一般来说低于光学显微镜
接触式轮廓仪
探针轮廓仪和扫描探针显微镜，通常都称为接触式轮廓仪或者触摸
式传感器，因为它们都是使用一个探针来对测量对象的表面进行扫描
。现在，施加在探针尖上的力已经非常小了，以至于很难再将其称为
接触式仪器。这类仪器的测量速度很低，横向分辨率则相当高，
不过一般来说低于光学显微镜。作为最早得到发展的探针轮廓仪，其制造
成本不高。也便于使用，因此在许多机械和光学车间中作为标准配备
。扫描探针显微镜的发展要相对晚一些，但是由于其具有亚纳米量级
的纵向和横向分辨率，现在该设备地实验室和半导体及微机电系仪
，该仪器能够在扫描模式下工作。
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