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透明薄膜的厚度测量
由于显微镜做成手提式,所以直接对于那样安装在加工机械
上的
工件或者无法放在测量工作台上的大形部件的粗糙度进行
测量。测量的取值是靠目镜测微计进行
原理、结构
光切断面法的原理从斜的方向将带平行光束照射在凹凸轮廓
的样品的表面上。
照射光和照射不着光的界线就是样品表面的形状,通过测量
高度H就可求得粗糙度(图中的槽浓度)。
光束对于样品表面的入射角度和观察角度均为45度。实际结
构光路如图2-17-8b所示,由光源(灯泡)发出的光照射在狭缝
刻度盘上,在刻度盘上装有狭缝等,以提供带状光束,
各狭缝被物镜所缩小后,呈现在样品面上,由狭缝照射的样品
面的像是被另一个物镜所放大之后,同时射入之后,同时射
目视部和照相系统。
照明用物镜和观察用物镜均装在一个框式部件内,根据紧因
杆的操作机能,可随时替换。各部件是考虑到工作时若万一碰
上样品亦不使光学件受到损伤的结构,它备有4种倍数,
即:4X、14X、30X和60X。根据试件粗糙度值的大小,选择合适的
使用倍数。
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