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本文标题："微电子学分析仪器的组合式多功能金相显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2015-6-22 1:45:01 本站主页地址：http://www.jiance17.com
微电子学分析仪器的组合式多功能金相显微镜
分析仪器的组合
在微电子学领域，为了取得同一试样的两种不同结论，对污染
乩化学检验和分析必须有更多的分析方法。
试样采集和制备
试样的采集和制备是化学检验、分析的重要课题。 在试样
采集时，必须十分小心，不让试样沾污。最基本的是使用标准试
样。两个相同试样的选择：一个留作专用；另一个根据需要使用
。
由于容器和试样间的相互作用，储存试样时也会引起污染。
储存在玻璃器皿中的液体可滤出大量钠和其它物质，水溶液中的
某些元素易被容壁吸收，这样，几天后容器中的浓度显著下降，
有些塑料容器有增塑剂，这种增塑剂使储存的液体沾污，塑料管
通过容器把增塑剂引入液体。
容器和试样的加工材料应按试样类型、难度和所用仪表进行
选择。 如果对有机物质和无机物质都要进行检测，那么必须采
用两种试样和加工系统、辐射光谱学租X—射线荧光光谱学对有
机物质来说不是很灵敏的，而红外分光光度计和气体色谱学对无
机
通常，采用这种分析方法时是利用衬底作试样的载体或集电极，
在微电子制造工艺中用做衬底的有玻璃滑片、高纯金属小片(例
如铝)、特别是加工过的石墨棒和薄片以及硅圆片等。
分析前清洗试样，有时是必要的，但往往是有害的。被发现
的表面污染，在清洗时只能洗掉那些特别明显的地方，而那些应
该清洗的混合物残渣往往可能没有洗掉。 例如蚀刻时，氟氢酸
在硅表面留下的少量氟残渣。 若彻底冲洗仍未洗掉残渣，则只
能用高温处理、 制备试样的分析不仅要考虑什么是必需去掉的
，而且也要考虑什么是首先应该去掉的(例如某些杂质)，以及什
么是可以作为干涉残渣留下的。
加工时，还必须考虑保存试样的方法。 容器不应在化学上
妨碍分析，在采用塑料和胶合剂时，就要考虑这一问题。有时可
用氧化锌作填料，用此类胶合剂保存的试样，在搜索污染中往往
发现虚报现象。
总之，取得试样的主要目的在于采集材料，如果没有附加污
染物，这种材料能准确代表现有污染，并可用选定的分析方法计
数和测量。取得试样的方法与检测杂质类型、所用仪器有密切关
系
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