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光束特性传感器
在激光加工过程中,光束的质量在实现高质量的加工中扮
演了重要的角色。为此,正在开发用于监测光束功率分布的传感器
。一个普通的方法是用一个带有针孔的杆扫描光束。通过应用一个
反射镜,辐射被反射到传感器。应用此系统,通过光束的强度分布
可被测量到。另一个系统,需要在光束路径上安装一个细线栅格,
从单根线的温度变化,可重新构造一个完全的光束功率分布。聚焦
位置和气体压力
在工件和聚焦头部的偏移经常引起过程误差。尤其是在切
削应用中,在原材料内部保持聚焦很重要。为了解决这个问题,电
容传感器可以测量聚焦头到工件的距离,并且通过应用一个控制线
圈,当表面出现不规则时,进行一个补偿运动。另外,应用更现代
的系统来控制过程气体压力,以便不再有波动影响最终的切削。这
些传感器普遍应用于二维坐标,但还没有用于三维坐标的。
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