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本文标题："微型化传感器的尺寸-集成化微电子检测显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2016-9-17 1:28:03 本站主页地址：http://www.jiance17.com
微型化传感器的尺寸-集成化微电子检测显微镜
集成化是指借助于微电子和MEMS(Micro Electro—Mechanical Sys
tem，微机电系统)技术中的微细加工技术(如光刻、腐蚀、蒸镀、
电火花加工、线切割以及LIGA工艺等)，将单一功能的传感器与其
他传感器或执行器、信号处理元件以及电路集成在一起，甚至一个
芯片中，使之成为一种全固体化的功能器件。
多功能是指将原本多个传感器完成的功能集成在一个传感器中
，使之具有更多的功能。传感器的多功能化通常是在集成化的基础
上实现的。
微型化是指传感器的尺寸极度缩小，典型的有各种MEMS传感器
。由于尺寸向微小型化发展，使得传感器不仅具有体积小、功耗低
等常规传感器所不具备的特点，而且由于尺度效应，能够呈现许多
新的物理性质，因而MEMS传感器能被用于许多特殊的场合。
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