--- --- ---
(点击查看产品报价)

本文标题:"电子显微镜技术电子束的等效波长及数值孔径均较小"

新闻来源:未知 发布时间:2016-12-7 1:38:46 本站主页地址:http://www.jiance17.com

电子显微镜技术电子束的等效波长及数值孔径均较小


扫描显微镜表面测量技术

  与上述光学仪器不同,扫描显微镜没有光学物镜,图像的观察不
是通过光学镜面,而是通过计算机图像监视器。有两种类型的扫描
显微镜,电子显微镜(Electron Microscope,EM)和扫描探针显微
镜(Scanning Probe Microscope,SPM)。
    电子显微镜的基本原理较为简单:从电子射源发出的电子经多
级电磁透镜汇聚成极细小的电子束探针,之后将电子束探针入射至
样品表面从而激发出各种信号,通过对这些信号的检测处理即可实
现对样品表面的分析成像。.通常根据所检测信号的
范围,将电子显微镜细分为扫描电子显微镜(Scanning Electron M
icroscope,SEM)和透射电子显微镜(Tunneling Elec—tron Micro
scope,TEM),机械加工样品都是大块基体,因此TEM并不适合于超
精密加工表面形貌的检测。
    SEM利用扫描线圈装置使电子束探针在样品表面进行栅格扫描
,扫描的同时检测电子束所激发出的二次电子,通过二次电子的强
度与被测表面形貌的关系获得表面的扫描电子图像。由于电子束的
等效波长及数值孔径均较小,因而SEM具有纳米级甚至更高的空间
分辨率

所有资料用于交流学习之用,如有版权问题请联系,禁止复制,转载注明地址
上海光学仪器一厂-专业显微镜制造商 提供最合理的显微镜价格
合作站点:http://www.sgaaa.com/显微镜百科