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本文标题："光学零部件成像透镜样品分析图像显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2017-9-18 21:28:33 本站主页地址：http://www.jiance17.com
光学零部件成像透镜样品分析图像显微镜
除了能够反映表面或零件的局部缺陷之外，干涉图像还反映了被测
波前的像差值信息。这与测试系统的相差直接相关。这就需要根据
干涉仪的配置类型来确定所有相差的来源。需要谨记．干涉图表示
的是两束干涉光之间的差异。因此，两束光都经过光学零部件如成
像透镜或扩束镜时．其像差不会引起干涉图变化。
这里．像差是指波面误差．是旋转对称的光学系统的本质属性
。这些像差是理想球面波经各种各样变化后的实际波前。在干涉仪
中．理想的球面波常常是一个平面波；它可以看作是一个有无限曲
率半径的球面波。从干涉图得到的波面误差是测量平面的误差．测
量平面与探测平面相对于成像透镜是共轭的。
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