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本文标题："问如何测量真空溅镀膜厚或量测溅镀层的膜厚？"
新闻来源：未知 发布时间：2011-12-6 0:06:34 本站主页地址：http://www.jiance17.com
请问真空溅镀膜厚要如何量测？
我是溅镀铝材，请问如何确认或量测溅镀层的膜厚。
以下的方法给您参考看看：
1. 如果你所使用的溅镀机有装石英震盪式监控器，可以在製程中监控你要的膜厚。
2. 镀膜的同时搭一片测试片，镀膜完成后以表面轮廓描绘仪(Surface Profiler)
量测膜厚。由于表面轮廓描绘仪是利用探针在试片表面感应起伏，所以测试片表面
需保留部分区域未被溅镀，才能量测薄膜的高低差(膜厚)，最简单的方式是在测试
片部分区域贴真空胶带，或者透过黄光製程，用光阻在测试片表面製作简单的图形。
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