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网版印刷电池制程细微影像检测仪器
硅晶太阳能电池制程中利用网版印刷制作金属电极的方式来生产太阳
电池,为了提高电池本身的效率,由原本的一次电极涂布改良为两次电极
涂布,原来较宽的电极变较窄而且高度较高。传统一次涂布精度要求不
高,而两次涂布产生对位误差使得两层电极发生错位问题将是转换效率提
升的关键因素,
针对两次涂布电极之检测及补正流程,发展多项技术,包括:影像处理技术、
误差比对技术、涂布机台控制界面、检测系统整合等,并导入检测资料库,
发展影像特征对位算法,将两次涂布
电极对位误差降至 50 μm 内。
规划五种不同实验以验证各种精度,
包括:软体运算精度分析、电极涂布机台涂布重现性分析、软体座标与涂
布机台座标转换误差分析、单次电极涂布补正分析和两次电极涂布补正分
析,实验结果验证本研究所发展影像检测与精度补正方法的可行性
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