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本文标题:"精密加工面形测量-光学式粗糙度测量显微镜"

新闻来源:未知 发布时间:2014-11-12 17:41:42 本站主页地址:http://www.jiance17.com

精密加工面形测量-光学式粗糙度测量显微镜

  超精密加工技术追求的是精度极限,随着品质的稳定和需求
的增大,对高效率加工的要求也就越来越高。在高效率加工同
时,为不保证加工精度,须对工件精度进行测量。然后及时将
结果反馈回控制程序,对工件进行补偿加工,从而进一步提高
工件的加工精度,显然,精密测量技术在超精密加工中占据了
重要的地位。

  在常用的超精密形状测量法中,利用光干涉的面形测量法运
用的最多。干涉测量法的应用前提是必须要保证基准元器件的
精度,但如何保证其精度是现在面临的主要问题之一。

而且目前非球面形状的干涉测量法仍旧不成熟,这也是现在需
要解决的关键问题之一。鉴于干涉法对振动或环境的适应很弱
的情况下,该测量方法更倾向于大型化的光学系统测量,
而不是倾向于微型的光学测量或机械测量。与此相对应的是,
扫描测量方法可以实现球面或平面,以及非球面等多种形状的
简单在线测量。

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