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本文标题:"金属晶粒分别特征加工工艺分析金相显微镜"

新闻来源:未知 发布时间:2015-6-7 0:11:05 本站主页地址:http://www.jiance17.com

金属晶粒分别特征加工工艺分析金相显微镜


因此对晶体取向必须引起足
够的重视.可能预期到的与晶体取向有关的工艺.一般地说,如

果一种物理性质不是标量,则在大多数晶态材料中它将是方向敏

感的叫.用二阶张量表示的性质,几乎包括半导体工艺中通常最

感兴趣的所有性质(电阻率、热传导率、扩散系数),它们在立方晶

系中都是与方向无关的(而目前主要的半导体大多数都是属于立

方晶系的).

    然而,在试图事先预言某些测试行为方面却存在一些问题.

问题产生的原因是由于难以确定某些性质(例如硬度、腐蚀速

度)的确切的定义,或是由于对某一性质的显然简单的测试中却

可能以某种难以捉摸的方式意外地牵连了一些附加现象


测定晶体取向有多种方法.这些方法大致可分荛

两大类:一类是借助于直接观察一些可辨别的特征,如生长小平面

或腐蚀坑;另一类是X射线衍射.所有直观的方法都需要对所硼

究的具体材料的生长、腐蚀和破裂等特征事先有所认识.X射线

定向法不需要上述附加的知识,但却需要专门的设备。对上述的

任一种情况,都假定被检测的半导体的晶体结构是已知的

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