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本文标题："材料的电学鉴定冶金加工器件体积测定显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2015-11-11 16:37:41 本站主页地址：http://www.jiance17.com
材料的电学鉴定冶金加工器件体积测定显微镜
冶 金 学
在低温下形成势垒接触的冶金学是比较简单的，因为金属与
半导体不发生反应。但是，当在高温下要形成欧姆接触或稳定的
势垒结构而进行烧结时，就会发生强烈的反应。低阻欧姆接触的
要求是：
①接触金属应当与半导体均匀地浸润并起反应。
②应当形成一个均匀的高掺杂区，用它产生具有欧姆行为的
低接触电阻。
④这个接触体系应当与所用的其它金属相熔合，并能在以后
的整个加工程序中保持牢固不坏。
通常使用的接触金属所包含的掺杂剂，n型的有锡，铟或锗；
P型的有锌或锰，并与金，银或镍组成合金。后者提供一个适于
焊接引线的表面，并且在合金过程中使低熔点的掺杂剂直接与半
导体接触。
材料的电学鉴定是一个复杂而广泛的研究课题。它包括体材
料的分析，监控薄的外延层(与器件层同时生长的)，在整个片
子表面上平均值的测量，特定器件中的体积测定，对完整器件的
测量以及为了确定材料的某种特性而进行的试验等等。
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