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本文标题："物理量测量微机械制造技术-微观显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2016-5-12 1:27:18 本站主页地址：http://www.jiance17.com
物理量测量
微薄膜材料的力学性能，如残余应力、弹性模量、抗拉强
度和断裂韧性等，是决定微机械特性的重要参数。微薄膜与块材有
着不同的力学性能，人们对其力学性能所知甚微，常规的方法难以
测试微薄膜的力学性能，但可以考虑利用谐波频率法。
残余应力测量
在微机械构件制造过程中，会在构件内留下残余应力。因残
余应力的作用，利用微机械制造技术制作出两端固定梁，将受轴向
力作用。设均值等截面的两端固定梁所受的轴向应力是均匀分布的
、各部位是相等的。
测量与结果
测量悬臂梁和两端固定梁的一阶谐振频率，从而求其弹性模
量和残余应力。谐振频率的测量系统中，被测固定梁固定在电极上
方，在电极与硅梁间施加正弦电压，使电极与硅梁间产生静电引力
，使硅梁产生振动。把激光聚焦于悬臂梁的自由端或两固定梁的中
间，用光电二极管接受硅梁反射来的光束。使光电二极管的受光面
与反射来的光束的光斑部分相交，硅梁上下振动时，光斑与受光面
积也对应地增减，输出的电压也随之增减。硅梁振幅越大，输出的
电压越大。调节加在硅梁与电极间的驱动电压的频率，输出电压的
振幅极大时的频率为梁的一阶谐振频率。
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