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本文标题："量测非金属亮面的的样品表面凹陷处"
新闻来源：未知 发布时间：2011-12-1 0:00:37 本站主页地址：http://www.jiance17.com
目前在光学设计面临一个大问题
以前我在量测非金属亮面的的样品表面凹陷处的深度时
可以用传统的phase-shift interferometry方法
但是针对金属亮面的表面凹陷深度量测时
因为反射dominate，所以无法计算深度
人家说用白光干涉显微镜可以量
但是它只能一次量一个位置
我想要量大面积且有数百个点要量
不知道有没有什么样的光学设计可以实现？
或者是有没有把白光干涉显微镜变成2D scan的方式
可以扫大面积的？
回覆：
白光干涉显微镜是扫整面的......
现在的型号还有3d显示图.最大深度.平均深度和方均根深度值
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