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本文标题："投影显微仪测量细微电子元件的轮廓外观"
新闻来源：未知 发布时间：2013-7-22 0:57:18 本站主页地址：http://www.jiance17.com
投影显微仪测量细微电子元件的轮廓外观
利用自制低能量电子点投影显微仪搭配具有高亮度及高同调
性之单原子针观察由电子束引起的干涉条纹，及在没有任何透镜的情况下
取得绕射图形。首先，我们利用纳米碳管当做样品以观察由感应电荷引起
的干涉条纹。固定针和样品之间的距离，藉由增大加在针上的偏压，不只
干涉条纹的间距会受到影响而变小，具有等宽条纹的区域也会因而扩大。
搭配理论模拟可得知纳米碳管上的感应电荷密度也随着加在针上的偏压
增加而增加。由此可知当真和样品之间的距离逐渐减少时，电荷感应效应
会逐渐主导且成为干涉条纹的形成主要原因。
改变部分的仪器架构以利于进行绕射实验。在绕
射实验中，我们选择利用悬挂在样品支架中的单层石墨烯当做绕射实验的
样品。藉由调整伸缩式的光电倍增板至适当的位置，即可观察到单层石墨
烯的绕射图形。不需借助任何透镜的调整，只需曝光数秒钟就可以得到六
角型对称的绕射图形。
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